Гібридна система осадження тонкої плівки PVD об’єднує термічне випаровування, випаровування електронним пучком (e-beam) і магнетронне напилення RF/DC в одній вакуумній архітектурі. Ця платформа забезпечує послідовне або спільне -осадження металів, сплавів і діелектриків без порушення вакууму, запобігаючи міжфазному окисленню. Створена для науково-дослідних установ і пілотних виробничих ліній, система обробляє підкладки розміром до 6 дюймів із автоматичним багато-обертанням.

Технічні характеристики

Параметр	Специфікація
Граничний базовий тиск	< 5.0 x 10^-6 Pa (baked out)
Час-викачування	< 15 minutes to 1.0 x 10^-3 Pa
Розмір підкладки	Пластини діаметром до 6 дюймів / спеціальні тримачі
Рівномірність товщини плівки	<= +/- 1% across a 4-inch substrate (planetary rotation)
Джерела осадження	До 3 кишень електронного променя, 2 теплових човни, 4 магнетронних катода
Температура основи	Температура навколишнього середовища до 800 °C (контрольований ПІД)
Матеріал камери	304L / 316L електрополірована нержавіюча сталь
Відповідність вимогам безпеки	CE сумісний; компоненти, виготовлені за стандартами UL / NFPA за запитом

Ключові характеристики

Модульні розетки:Взаємозамінні фланці джерела дозволяють швидко змінювати конфігурацію між катодами розпилення та термічними/-променевими випарниками.

Архітектура ізоляції:Пневматичні засувки ізолюють технологічну камеру від високо-вакуумної труби, щоб мінімізувати утворення часток.

Моніторинг-на місці:Виділені порти для датчиків мікроваги з кварцевим кристалом (QCM) і оптичної емісійної спектроскопії (OES).

Блокований ПЛК безпеки:Апаратне блокування запобігає активації джерела під час високого тиску, збою охолоджувальної води або порушення безпеки.

Конфігурація вакуумної системи

Чорновий насос:Сухий спіральний насос (30 м^3/год) для усунення зворотного потоку вуглеводнів.

Насос високого вакууму:Турбомолекулярний насос з магнітною левітацією (1200 л/с для N2) із кріогенною пасткою.

Датчики:Комбіновані датчики Пірані та датчики з холодним катодом, що охоплюють атмосферу до 10^-7 Па.

Випічка:Картриджні обігрівачі із зовнішньою ізоляцією, що досягає температури до 150 °C.

Сумісність матеріалів і підкладок

Матеріали для випаровування:
Метали:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Cu, Ni

Діелектрики та оксиди: SiO2, TiO2, Al2O3, ITO

Напівпровідники:Si, Ge

Типи підкладок:Моно{0}}пластини кремнію, скло, кварц, поліімідні плівки та металева фольга.

Додатки

Оптоелектронні прилади:Прозорі провідні електроди (ITO) і багато{0}}шарові відбивачі для OLED і сонячних елементів.

Мікроелектронна упаковка:Під-металізація (UBM) і початкові шари для вафельної-упаковки.

Передові дослідження та розробки:Структури квантових пристроїв, тонкі плівки надпровідників і магнітні тунельні переходи (MTJ).

Параметри налаштування

Камерний масштаб:Розширені розміри для 12-дюймових підкладок або інтеграції бардачка.

Налаштування джерела:Спеціальні об’єми тигля, радіочастотні джерела живлення та модулі йонного{0}}осадження (IAD).

Автоматизація:Керування рецептами на сенсорному екрані або повна відповідність стандартам автоматизації SECS/GEM.

Контроль якості

Перевірка на герметичність:Тестування гелієвим мас-спектрометром на камеру (< 1 x 10^-10 Pa*m^3/s threshold).

Перевірки розмірів:Перевірка CMM відстаней-до-підкладки та допусків на фланці.

Електричні випробування:Ви-тестування напруги, перевірка безперервності заземлення та перевірка стану здоров’я на всіх лініях високої-напруги.

Встановлення та підтримка

Заводські приймальні випробування (FAT):Перед{0}}перевірка основного тиску, функціональності джерела та автоматизованих циклів на нашому підприємстві.

Польова установка:Механічне вирівнювання-на місці, перевірка підключення до мережі та приймально-здавальні випробування (SAT).

Документація:Повна поставка включає електричні схеми, схеми P&ID, резервні копії ПЛК і сертифікати випробувань млина.

FAQ

З: Чи може система перемикатися між реактивним напиленням і термічним випаровуванням за один цикл?

A: Так. Пневматичні затвори ізолюють кожне джерело, дозволяючи послідовне виконання без переривання вакууму.

З: Які вимоги до комунальних послуг закладу?

A: Потрібна 3-фазна напруга 380 В/480 В, охолоджуюча вода (від 18 до 22 °C при 0,3 МПа), стиснене повітря (від 0,5 до 0,7 МПа) і випускна лінія чорнового насоса.

З: Як запобігає перехресному-забрудненню між металевими джерелами?

A: Димові труби з окремими джерелами, спрямовані перегородки та фізичні жалюзі мінімізують перехресні -переговори під час кількох-запусків джерел.

Популярні Мітки: pvd гібридна система нанесення тонкої плівки, Китай pvd гібридна система нанесення тонкої плівки виробники, постачальники, фабрика