Огляд продукту
Промислова катодно-дугова система випаровування – це виробнича платформа-для фізичного осадження з парової фази (PVD), розроблена для нанесення зносостійких,-корозійностійких-та твердих покриттів із низьким{3}}тертям. Завдяки використанню електричних дуг із низькою-напругою та сильним{6}}струмом тверді катодні мішені випаровуються та миттєво іонізуються на катодній плямі, утворюючи високоіонізовану металеву плазму.
Ця система, розроблена та виготовлена відповідно до стандартів управління якістю ISO 9001 і директив CE, налаштована для високопродуктивних-операцій нанесення покриттів у інструментальному виробництві, автомобільних компонентах і промисловому обладнанні. Стандартні конфігурації об’єднують багато-катодні схеми з незалежним керуванням магнітним-полем, програмованими джерелами живлення постійного/імпульсного зміщення та автоматизованим керуванням вакуумом для підтримки сталої стехіометрії плівки та щільної мікроструктури.
-
![Тонкоплівкова система дугового випаровування]()
Тонкоплівкова система дугового випаровуванняТонкоплівкова система промислового катодно-дугового випаровування розроблена для високо-швидкісного осадження щільних металевих, сплавних і керамічних складових покриттів із міцною адгезією....Переглянути більше -
![Обладнання дугового випаровування PVD]()
Обладнання дугового випаровування PVDПромислова система PVD із випаровуванням катодної дуги використовує електричні дуги низької-напруги та сильного-струму для випаровування твердих катодних мішеней у вакуумному середовищі. Цей...Переглянути більше -
![Вакуумно-дугова тонкоплівкова система]()
Вакуумно-дугова тонкоплівкова системаПромислова вакуумно-дугова тонкоплівкова система використовує катодно-дугове випаровування для нанесення щільних тонких металевих, сплавних і керамічних плівок із високою адгезією. Дуга з високим...Переглянути більше -
![Тонкоплівкове обладнання з катодною дугою]()
Тонкоплівкове обладнання з катодною дугоюСистема фізичного осадження з парової фази (PVD), яка використовує локалізовану низьку-напругу, -електричні дуги для випаровування твердих катодних мішеней у повністю іонізовану плазму. Високий...Переглянути більше -
![Обладнання для електродугового осадження]()
Обладнання для електродугового осадженняПромислова платформа фізичного осадження з парової фази (PVD), розроблена для високо-синтезу щільних,-зносостійких і функціональних твердих покриттів. Підтримуючи високий-струм, низьку{4}}напругу...Переглянути більше -
![Обладнання для тонкоплівкового дугового випаровування]()
Обладнання для тонкоплівкового дугового випаровуванняЦя катодно-дугова система випаровування випаровує тверді катодні мішені за допомогою електричної дуги низької-напруги з високим{1}}струмом для створення повністю іонізованої металевої плазми....Переглянути більше
Технічні характеристики
|
Параметр |
Діапазон специфікацій / Стандартна конфігурація |
|
Розміри камери |
Діаметр: 800 мм - 1800 мм (настроювані вертикальні/горизонтальні макети) |
|
Матеріал камери |
Дво-стінна нержавіюча сталь SUS304 із внутрішніми водяними{2}}каналами охолодження |
|
Граничний вакуумний тиск |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Конфігурація катода |
Від 4 до 12 джерел прямокутної/круглої дуги з електромагнітним керуванням |
|
Джерело живлення дуги |
300A - 500Регульований постійний струм, пульсації<= 2% |
|
Потужність зміщення підкладки |
0 до -1000 В регульований, частота імпульсного зсуву 10 кГц - 100 кГц |
|
Система опалення |
Масив радіаційного нагрівача, максимальна однорідність температури 600 градусів +/- 5 градусів |
|
Обертання заготовки |
Планетарне або подвійне-обертання, що приводиться в рух магнітною рідиною |
|
Система контролю |
ПЛК + промисловий ПК, автоматизоване керування послідовністю-на основі рецептів |
|
Вимоги до комунальних послуг |
Охолоджуюча вода: 0,25-0,35 МПа, 20-25 градусів; Живлення: 380В/480В, 3 фази, 50/60 Гц |
Процес дугового випаровування
Цикл осадження проходить під суворим процедурним контролем, щоб гарантувати цілісність плівки та адгезію між поверхнею:
Евакуація та дегазація:
Вакуумна камера відкачується до базового тиску. Субстрати нагріваються під вакуумом для видалення з поверхні летючих речовин і залишкової вологи.
01
Плазмове травлення (очищення):
Бомбардування іонами металу (з використанням титанових або хромових джерел мішеней) очищає поверхню підкладки на атомарному рівні, видаляючи природні оксиди та активуючи поверхню розділу.
02
Реактивне осадження:
Реактивні гази (N2, CH4, O2) вводяться в камеру через контролери масової витрати (MFC) для реакції з потоком плазми металу (наприклад, Ti, Cr, AlTi), утворюючи складні плівки, такі як TiN, TiAlN або CrN.
03
Охолодження та вентиляція:
Охолодження після-осадження відбувається в атмосфері захисного інертного газу перед вентиляцією камери та вилученням деталей.
04
Підтримувані катодні мішені
Титан (Ti) і титан-алюміній (TiAl):Основні матеріали для стандартного TiN і покриттів TiAlN із високою-стійкістю до окислення- (витримує окислення до 900 градусів).
Хром (Cr):Використовується для декоративної обробки та корозійно-{0}}стійких шарів CrN/CrC.
Цирконій (Zr) і титановий кремній (TiSi):Застосовується для виготовлення спеціалізованих декоративних та зносостійких-нанокомпозитних плівок.
Сумісні матеріали підкладки
Швидкорізальна-сталь (HSS):Спіральні свердла, торцеві фрези, плити та протяжки.
Цементовані карбіди (WC-Co):Змінні пластини, розгортки та формувальні матриці.
Інженерні сталі та сплави:Компоненти автомобільних клапанів, шестерні, сантехнічне обладнання з нержавіючої сталі та титанові медичні імплантати.
Програми та вплив на продуктивність
Металорізальний інструмент:
Нанесення покриттів TiAlN і AlCrN на твердосплавні пластини та кінцеві фрези, що подовжує термін служби інструменту на 200%–300% і забезпечує суху високошвидкісну-обробку.
Штампи для формування та штампування:
Нанесення щільних покриттів із низьким-тертям для зменшення адгезійного зношування, задирів і прилипання заготовки під час глибокої витяжки, що скорочує час простою до 40%.
Автомобільна трансмісія:
Обробка поршневих кілець, паливних паливних пальців і штовхачів для мінімізації граничного коефіцієнта тертя до < 0,15 і запобігання зносу від задирів.
Промислове обладнання та сантехнічний кран:
Жорсткі декоративні шари PVD (TiN золото, рожеве золото, чорний цирконій) пройшли щонайменше 500-годинний тест на нейтральний сольовий туман (ASTM B117).
Налаштування та конфігурація процесу
Розташування обладнання масштабується відповідно до обсягу виробництва, геометрії деталей і площі заводу:
Геометрія камери:
Вертикальні завантажувальні конструкції для важких інструментів; горизонтальні пакетні конфігурації для-великого завантаження приладів.
Інтеграція джерела:
Гібридні конфігурації, що поєднують джерела катодної дуги з катодами незбалансованого магнетронного розпилення (RMS) для осадження гладких багатошарових архітектур без{0}}крапель.
Системи фільтрації:
Додаткові магнітні фільтри макрочастинок (керовані дугові фільтри), встановлені на катодних каналах для усунення макро{0}}крапель для оптичних або над-гладких функціональних покриттів.
Інтерфейс автоматизації:
Інтеграція-підготовлена до роботизованих завантажувальних зброй і автоматизованого керованого транспортного засобу (AGV).
Структурна цілісність:Корпус камери проходить перевірку на герметичність гелієвим мас-спектрометром за порогу чутливості<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Електрична безпека та відповідність:Створено відповідно до інструкцій з електробезпеки CE та IEC, включає повне випробування ізоляції та аварійне блокування.
Функціональний відтік (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / відступ Rockwell HF1-HF2) перевіряються на стандартних тестових купонах перед відправленням.
Встановлення та технічна підтримка
Пакет підготовки сайту:
Через 4 тижні після-контракту надаються комплексні креслення компонування інженерних комунікацій із зазначенням швидкості потоку охолоджувальної води, витяжної вентиляції, вантажопідйомності підлоги та специфікацій електричного падіння.
На-введення в експлуатацію на місці:
Заводські-сертифіковані інженери-технологи займаються механічним центруванням, вакуумним виявленням витоку, електричною інтеграцією та початковим базовим налаштуванням рецептури на підприємстві клієнта.
Передача рецепту процесу:
Постачання включає стандартні базові рецепти (TiN, TiAlN, CrN) та операційне навчання для внутрішньої технічної та інженерної команд.
Віддалена діагностична підтримка:
Системи, оснащені безпечними шлюзами промислового маршрутизатора для віддаленого усунення несправностей параметрів і діагностики логіки ПЛК.
FAQ
Ми-відомі як один із провідних виробників і постачальників тонкоплівкового обладнання для дугового випаровування в Китаї. Якщо ви збираєтеся придбати тонкоплівкове обладнання для дугового випаровування, виготовлене в Китаї, ласкаво просимо отримати прейскурант від нашої фабрики. Для консультації щодо ціни зв'яжіться з нами.
