Тонкоплівкове обладнання з катодною дугою

Система фізичного осадження з парової фази (PVD), яка використовує локалізовану низьку-напругу, -електричні дуги для випаровування твердих катодних мішеней у повністю іонізовану плазму. Високий рівень іонізації (40%-80%) забезпечує щільне з’єднання-на атомному рівні та високу напругу стиску, що забезпечує високу{7}}швидкість нанесення зносостійких-і декоративних покриттів на швидкорізальну сталь (HSS), твердосплавні різальні інструменти, автомобільні компоненти та медичні пристрої.

Висока ефективність іонізації:Швидкість плазмової іонізації досягає 40%-80%, забезпечуючи чудову адгезію-плівки до основи.

Модульні катоди:Швидко-змінний цільовий вузол мінімізує час простою на технічне обслуговування; сумісні з плоскими і поворотними циліндричними катодами.

Замкнутий-контроль газу:Контролери масової витрати MKS підтримують точний парціальний тиск реактивного газу для складних плівок (TiAlN, TiCN).

Багато{0}}обертання планети:Індивідуальні приводи обертання та обертання забезпечують рівномірність товщини (±5%) у складних 3D-геометріях.

Подвійний-режим роботи:Підтримує дугове випаровування постійного струму та інтеграцію імпульсного напилення зміщення для багато{0}}шарових архітектур.

Чорнові насоси:Комбінація Roots і роторно-лопатевого насоса для швидкого відкачування-з атмосфери до 10 Па.

Насос високого вакууму:Турбомолекулярний насос з магнітною левітацією (1600–3200 л/с), що забезпечує тиск-вільної основи вуглеводнів.

Клапани та вимірювальні прилади:Пневматичні високо{0}}вакуумні засувки з іонізаційним блокуванням Пірані та холодним катодом для запобігання зворотному потоку масла.

[Візуальний посібник для Web Producer]:Вставте схематичне або чітке фото макета вакуумного водопроводу, підкресливши положення турбомолекулярного насоса та пневматичного засувки.

Стандартні катодні мішені (чистота більше або дорівнює 99,95%)
Перехідні метали:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (атомні співвідношення 50/50, 33/67), CrAl, W, Nb, Si.

Сплави та сполуки:Графіт (для прошарків DLC), нержавіюча сталь.

Сумісність із субстратом і попередня-обробка
матеріали:WC-Ріжучі інструменти, фрези, протяжки, штампи, прес-форми, титанові сплави (клас 5) і нержавіюча сталь.

Попередня-обробка:Ультразвукове знежирення розчинником і-очищення іонним бомбардуванням на місці (плазмове травлення Ar⁺) усередині камери перед осадженням.

Інструменти для різання та формування:Покриття TiN, TiAlN і AlCrN підвищують поверхневу твердість до 3000–3500 HV, пригнічуючи термічне утворення кратерів і абразивний знос.

Автомобільні компоненти:Покриття для-зменшення тертя для поршневих кілець, пальців уприскування палива та компонентів передач.

Медичні імплантати:Біосумісні тверді покриття TiN і ZrN на ортопедичних протезах суглобів і хірургічних гвинтах.

Декоративна фурнітура:Виробництво кольорового спектру (золота латунь, рожеве золото, бронзовий чорний, титановий сірий) за допомогою реактивного газу.

Геометрія камери:Конфігурації з вертикальним завантаженням (з-монтованим або на-підлозі) або горизонтальним-завантаженням.

Конфігурація джерела:Джерела магнітних каналів із фільтрованою катодною дугою (FAC) для видалення макрочастинок для оптичної чи точної електроніки.

Автоматизація:Роботизовані завантажувальні манжети, інтеграція док-станції AGV і протоколи реєстрації даних MES.

Виявлення витоку:Випробування гелієвим мас-спектрометром усіх камер і зварних швів (менше або дорівнює 1 × 10⁻⁹ Па·м³/с).

Електрична безпека:Опір ізоляції високої{0}}напруги, безперервність заземлення та перевірка функціонування блокування ПЛК.

Пробний запуск (FAT):72-години безперервного сухого-тесту плюс стандартний тест на осадження покриття, оцінений за допомогою тесту Calo (товщина) і тестера на подряпини (адгезія).

Пакет документації:Електричні схеми, схеми P&ID, вихідні коди ПЛК, сертифікати матеріалів і звіти FAT.

Підготовка місця:Детальні креслення, показники охолоджувальної води та специфікації розподілу електроенергії надаються за 4 тижні до відправлення.

Введення в експлуатацію:Механічне складання на місці, вакуумне калібрування та передача рецептів старшими інженерами-технологами-.

Навчання:Практичні-інструкції з обслуговування обладнання, усунення несправностей вакууму та протоколи безпеки.

підтримка:Інтеграція програмного забезпечення для віддаленої діагностики для-пошуку несправностей ПЛК у режимі реального часу за підтримки регіональної інвентаризації запасних частин.