Обладнання для тонкоплівкового дугового випаровування

Ця катодно-дугова система випаровування випаровує тверді катодні мішені за допомогою електричної дуги низької-напруги з високим{1}}струмом для створення повністю іонізованої металевої плазми. Порівняно зі стандартним термічним випаровуванням або магнетронним напиленням, цей процес PVD забезпечує вищу щільність плазми та чудову адгезію-плівки до-підкладки, призначену для функціональних,-зносостійких і декоративних твердих покриттів.

Магнітні відфільтровані джерела:Внутрішні магнітні канали відхиляють неіонізовані мікрокраплі від потоку пари, забезпечуючи низьку шорсткість поверхні (Ra) для точних деталей.

Контроль зміщення замкнутого-контуру: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 мкм).

Висока швидкість іонізації:Ефективність плазмової іонізації досягає 40% - 80%, створюючи щільні хімічні зв’язки без зовнішньої радіочастотної допомоги.

Модульна конструкція камери:Виготовлено з нержавіючої сталі 304/316L з електро-полірованими внутрішніми поверхнями (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

Насоси для чорнової обробки та коріння:Дво-ступінчасті роторно-лопатеві насоси в поєднанні з механічними допоміжними повітродувками справляються з початковою чорновою обробкою та великими газовими навантаженнями під час реактивного впорскування N2 або C2H2.

Насоси високого вакууму:Турбо-молекулярні насоси магнітної левітації (1200 - 3200 л/с) підтримують високі швидкості відкачування залишкової водяної пари та легких газів.

Клапани та вимірювальні прилади:Пневматичні засувки, високо{0}}вакуумні ущільнювальні фланці ISO/CF і комбіновані датчики іонізації Пірані/гарячого{1}}катоду, інтегровані безпосередньо в контур блокування ПЛК.

Сумісні катодні мішені
Чисті метали:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W

Сплави та сполуки:TiAl, CrAl, TiSi, WC, графітові мішені для осадження алмаз-подібного вуглецю (DLC)

Матеріали підкладки
Тверді метали та карбіди:Цементовані карбіди (WC-Co), швидко-швидкорізальна сталь (HSS), ріжучі пластини з нержавіючої сталі

Напівпровідники та кераміка:Кремнієві пластини, глинозем (Al2O3), інженерна технічна кераміка

Різальні інструменти та матриці:Нанесення TiN, TiAlN і CrN на свердла, кінцеві фрези та штампи для підвищення твердості поверхні до 2500 - 3500 HV і зменшення тертя.

Автомобільні компоненти:Зносостійкі-шари з низьким{1}}тертям на поршневих кільцях, пальцях форсунок і зубах шестерень.

Декоративні тверді покриття:Кольорові PVD-покриття (золото, рожеве золото, бронзовий метал, чорний титан) для обладнання та корпусів побутової електроніки.

Функціональні тонкі плівки:Провідні та бар'єрні шари для упаковки мікроелектроніки та напівпровідників.

Розмір камери:Масштабовані варіації обсягу, що відповідають певній геометрії партії та площі виробництва.

Вихідна гібридизація:Багато{0}}катодні інтеграції, що поєднують джерела катодної дуги з катодами незбалансованого магнетронного розпилення (UBMS) для градієнтних багатошарових плівок.

Кріплення основи:Спеціальні планетарні пристосування, локалізовані нагрівальні масиви до 600 градусів і налаштовані канали живлення.

Інтеграція програмного забезпечення:Спеціальна логіка рецептів ПЛК, реєстрація даних SCADA та конфігурації промислової відповідності.

Виявлення витоку:Тестування гелієвим мас-спектрометром для всіх камер і зварних швів, що гарантує загальну швидкість витоку<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

Перевірка електробезпеки:Випробування-на міцність діелектрика з високим потенціалом, перевірка безперервності заземлення та перевірка реакції блокування перед укладанням у ящики.

Відстеження матеріалу:Звіти про випробування матеріалів (MTR), надані для конструкційної нержавіючої сталі, вакуумних ущільнень і компонентів ізоляції високої{0}}напруги.

Пробний-запуск перед поставкою:72-годинне безперервне випробування насосного комплексу, приводів обертання та джерел живлення під час моделювання циклів.

Інструкція з підготовки сайту:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 м^3/год при 20 - 25 градусах), відведення вихлопних газів і перепади напруги (380 В/480 В, 3 фази, 50/60 Гц).

Введення в експлуатацію та приймання:Заводські приймальні випробування (FAT) на нашому підприємстві; Приймальні випробування на місці (SAT) і передача процесу виконуються на-майданчику місцевими інженерами.

Підтримка життєвого циклу:Захищена дистанційна діагностика VPN, запас запасних частин (мішені, екрани, ущільнювачі) і навчання технічного обслуговування місцевих спеціалістів.