Обладнання для багато-дугового іонного осадження

Промислова багато-система іонного осадження створює щільні тонкі-плівки з високою-адгезією за допомогою випаровування катодної дуги з високим-струмом і низькою{3}}напругою. Тверді матеріали мішеней (катоди) випаровуються в атмосфері реакційноздатного газу (наприклад, N2, O2 або C2H2) для синтезу стехіометричних складових покриттів. Розроблене для високих рівнів іонізації, що перевищує 80%, це обладнання забезпечує виняткову міцність з’єднання-з-підкладкою, що підходить для середовищ із екстремальним механічним навантаженням.

Технологія магнітної фільтрованої дуги:Інтегровані магнітні котушки відхиляють макро{0}}частинки та краплі від потоку субстрату, утворюючи над-гладкі-поверхні без крапель для точної оптики та ріжучих інструментів.

Контроль потоку газу із замкнутим-контуром:Контролери масової витрати MKS регулюють парціальний тиск реактивного газу в межах +/- 0.1 порогів стабільності sccm під час фаз реактивного осадження.

Керування температурою основи:Програмовані блоки випромінювальних нагрівачів у поєднанні з аргоновим охолодженням задньої сторони підтримують температурний бюджет підкладки від 150C до 600C.

Рецепти автоматизованого процесу:Архітектура керування на основі-ПЛК, яка виконує багато{1}}протоколи осадження від іонного очищення, градієнтного міжшарового травлення до кінцевого функціонального покриття.

Чорновий насос:Повітродувка Roots і роторно-лопатевий механічний насос (базова лінія Leybold / Edwards).

Насос високого вакууму:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Оцінка та трубопроводи:Пневматичні вакуумні засувки з нержавіючої-сталі, пневматичні кутові клапани та герметичні-еластомерні фланці KF/ISO-перевірені за допомогою гелієвої мас-спектрометрії (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Моніторинг тиску:Комбіновані іонізаційні датчики Пірані та холодного катоду забезпечують-зворотний зв’язок у реальному часі в атмосфері до ультра-діапазонів високого вакууму.

Цільові матеріали:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Матеріали підкладки:

• Цементовані карбіди (WC-Co)
• Швидкорізальна-сталь (HSS)
• Леговані сталі (SKD11, 316L, 4140)
• Титанові сплави (Ti-6Al-4V)
• Інженерна кераміка та жаростійкі-суперсплави

Інструменти для різання та формування:Нанесення покриттів TiAlN, AlCrN і TiCN на торцеві фрези, пластини, плити та штампи для підвищення твердості поверхні до 3200 HV і стійкості до абразивного зношування.

Автомобільні компоненти:Осадження твердого вуглецю (DLC) і CrN на поршневих кільцях, паливних пальцях і розподільних валах для зниження коефіцієнтів тертя нижче 0,1 в умовах сухої роботи.

Медичні імплантати:Біосумісні дифузійні покриття TiN і ZrN на кобальт-хром і титан колінних і тазостегнових суглобах мінімізують вимивання іонів металу та утворення залишків зносу.

Аерокосмічне обладнання:Стійкі до окислення бар’єрні покриття для турбінних лопаток і вузлів кріплення, що працюють при підвищених температурних порогах.

Геометрія камери:Конфігурації вертикального-приямкового-типу, горизонтального переднього-завантаження або подвійних{2}}дверей-прохідних-конфігурацій, адаптованих до наявних планів-цеху.

Інтеграція джерела:Гібридні конфігурації, що об’єднують джерела катодної дуги з катодами незбалансованого магнетронного розпилення (Ums) в одній камері.

Джиггінг і кріплення:Спеціальні планетарні або подвійні -обертальні інструментальні пристосування, сконструйовані за допомогою моделювання CAD/FEM для певних геометрій компонентів (наприклад, довгі екструзійні матриці або складні хірургічні гвинти).

Стандарти управління якістю:Розроблено, виготовлено та протестовано відповідно до систем менеджменту якості ISO 9001:2015 та ISO 14001.

Аерокосмічна та медична відстеження:Контроль процесів і протоколи документації повністю відповідають вимогам NADCAP AC7102 (теплова обробка/покращення поверхні) за запитом.

Цілісність витоку:Кожна вакуумна ємність проходить перевірку на герметичність гелієвим мас-спектрометром перед підписанням-складання.

Електрична безпека:Ви-тестування опору ізоляції високою напругою та перевірка цілісності заземлення відповідно до стандартів CE/IEC.

Ви-тестування:72-години безперервного сухого-випробування на довговічність механічних приводів обертання, перемикачів потоку водяного охолодження та систем блокування ПЛК.

Результати документації:Сертифікати випробування матеріалів (MTC), сертифікати випробувань на герметичність вакууму, пакети електричних схем і звіти NIST-про калібрування датчиків.

Правила підготовки місця:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 м^3/год), діапазон температури навколишнього середовища, витяжна вентиляція та перепади електроенергії (3-фазне, 380 В/480 В, 50/60 Гц).

Пусконалагоджувальні послуги:Механічне позиціонування-на місці, інтеграція вакуумних трубопроводів, електричне підключення та оптимізація базового рецепту, виконана місцевими старшими інженерами з обслуговування.

Навчання оператора:5-денний інтенсивний тренінг на місці, присвячений плановому технічному обслуговуванню, усуненню несправностей вакууму, протоколам заміни цілей і налаштуванню параметрів для конкретних структур плівки.

Запасні частини:Критичні зношувані компоненти (катодні ізолятори, екрани темного простору, динамічні ущільнювачі та масиви ниток) зберігаються в регіоні для відправки протягом 48 годин.