Композитна тонкоплівкова система PVD

Промислова-система вакуумного нанесення покриттів із магнетронним напиленням (RF/DC/HiPIMS) і катодно-дуговим випаровуванням. Призначений для безперервного, багато{2}}нанесення тонких-шарів, сплавів і нано{3}}композитних-плівок у масштабах виробництва.

Подвійна{0}}інтеграція технологій:Поєднує напилення (гладкі, аморфні складні плівки) і катодну дугу (високо{0}}осадження металу/сплаву) в одному циклі-викачування.

Управління газом із замкнутим-контуром:Контролери масового потоку (MFC) у поєднанні з оптичним моніторингом випромінювання (OEM) стабілізують парціальний тиск реактивного газу.

Механічна ізоляція:Багато{0}}осьові планетарні приводи ізолюють механічні підшипники від технологічної зони, запобігаючи забрудненню частинками.

Теплова архітектура:Стінки камери з подвійним-водяним{1}}охолодженням і захист від радіації запобігають тепловим спотворенням під час-роботи з високою потужністю.

Ядро автоматизації:Архітектура ПЛК Siemens S7-1500 і WinCC SCADA для блокування, моніторингу газу та живлення в реальному часі.

Чорновий поїзд:Роторно-лопатеві-насоси з прямим приводом, оснащені повітродувками Roots із магнітними рідинними ущільненнями.

Високий вакуум:Турбо-молекулярні насоси з магнітною левітацією (1200 - 3200 л/с) або кріогенні насоси.

Діагностика:Інтегровані тестові порти гелієвого мас-спектрометра та блокування автоматичної послідовності.

Цільові матеріали:
Метали:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si

Кераміка/компаунди:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2

Субстрати:Інструментальні сталі (H13, M2, твердосплавні вставки), конструкційні сплави титану/алюмінію, технічна кераміка та кремнієві пластини.

Ріжучі інструменти:Багатошарові покриття (TiAlN/TiN) із низьким-тертям і високою{1}}твердістю (TiAlN/TiN) для подовження терміну служби інструменту під час сухої високошвидкісної-обробки.

Автомобільний:Покриття проти зносу та проти{0}}задирів поршневих кілець і паливних пальців.

Аерокосмічна:Стійкі-до окислення тепловий бар’єр і захисні плівки на лопатях компресора та кріпленнях.

Оптика та електроніка:Провідні прозорі оксиди (ITO) і оптичні інтерференційні фільтри.

Геометрія камери:Прямокутні конфігурації ящиків для пакетного завантаження в стелажі або циліндричні вбудовані геометрії.

Модернізація джерела:Змінні монтажні фланці катода для польового перетворення на CFUBMS.

Плазмове травлення:Іонні гармати типу Kaufmann-або джерела з порожнистим катодом для-очищення підкладки на місці.

Цілісність вакууму:Поріг випробування на витік гелію<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Оздоблення поверхні:Внутрішні зварні шви камери електро-поліровані до Ra<= 0.4 um.

ЖИР:72-години безперервного сухого випробування вакууму, руху та захисних блокувальних петель перед упаковкою в ящики.

Стандарти відповідності:Створено відповідно до директив CE щодо обладнання та стандартів ISO 9001. (Значки довіри: ISO 9001, CE, UL)

Пакет документації:Схеми P&ID, схеми електропроводки, вихідна логіка ПЛК і досьє на відповідність CE/UL.

Введення в експлуатацію:Польові інженери контролюють механічне розташування, підключення до комунальних мереж і перевірку герметичності.

SAT і передача рецептів:На-майданчику базові тести та оптимізація рецептів.