Обладнання для-вакуумного випаровування

Система йонного-вакуумного випаровування об’єднує високо{1}}вакуумні термічні або-електронно-променеві джерела випаровування з джерелом іонів типу Кауфмана-або End-Холла. Бомбардуючи зростаючу плівку іонізованим газом (Ar або O2) під час фізичного осадження з парової фази (PVD), система передає кінетичну енергію адатомам, пригнічуючи стовпчасту мікроструктуру та запобігаючи поглинанню вологи оптичними та діелектричними тонкими плівками.

Створена для інтеграції чистих приміщень і безперервного-змінного виробництва, система масштабується від площі науково-дослідних робіт (камери 300 мм) до промислових ліній із високою-пропускною здатністю (конфігурації подвійних-дверей 900 мм і планетарного обертання).

Майже{0}}об’ємна щільність:Підвищена рухливість поверхні адатомів усуває видиму пористість плівки та максимізує механічну твердість.

Налаштування внутрішньої напруги:Регульована енергія іонного променя нейтралізує механічні навантаження, запобігаючи розшарування на товстих діелектричних пакетах.

Низький-термічний-бюджет обробки:Імпульсне-ущільнення забезпечує високо{1}}ефективне покриття на-температурних полімерних підкладках без теплових спотворень.

Автоматизація рецепта:Контрольовані-ПЛК вакуумні блокування та послідовність-накачування, керовані через промислову сенсорну-панель HMI із реєстрацією даних.

Чорнова стадія:Дво-ступеневий роторно-лопатевий механічний насос у поєднанні з повітродувкою Рутс (швидкість 150 л/с) для швидкого переходу.

Етап високого вакууму:Турбомолекулярний насос з магнітною левітацією (1600 л/с) із безмасляним-сухим спіральним насосом для усунення зворотного потоку вуглеводнів.

Кріогенний варіант:Холодна пастка рідкого азоту та інтеграція кріонасоса для низького парціального тиску-водяної пари.

Вимірювання вакууму:Перехресно-калібровані манометри Пірані та холодного катоду для зворотного-часу від атмосфери до 10^-7 Па.

Випаровування матеріалів
Оксиди:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

Фториди:MgF2, LaF3

Метали:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Сумісність субстрату
Оптичні підкладки:Вікна з плавленого кремнезему, N-BK7, кремнію, германію та селеніду цинку.

Напівпровідникові пластини:Кремнієві та складні напівпровідникові пластини від 100 до 300 мм.

полімери:Плівки PET, PI (поліімід) і PMMA з використанням низько{0}}температурних параметрів IAD.

Прецизійна оптика:Анти{0}}покриття (AR), лазерні дзеркала та вузькі смугові фільтри, які потребують стійкості до вологи.

мікроелектроніка:Металеві затворні електроди, адгезійні шари та пасиваційні бар’єри в упаковці напівпровідників.

Оптоелектроніка:Прозорі контакти з провідного оксиду (TCO) і шари інкапсуляції OLED{0}}від вологи.

Геометрія камери:Прямокутні або циліндричні конструкції, адаптовані до обмежень стін чистих приміщень.

Багато{0}}інтеграція джерел:У-установки для спільного випаровування, що містять до трьох електро{1}}променевих гармат і чотирьох термальних човнів.

Метрологічні порти-на місці:Фланцеві інтеграційні порти для спектроскопічних еліпсометрів або систем оптичного моніторингу.

Рівень автоматизації:Напівав-автоматичні дослідницькі збірки або повністю автоматизована обробка пластин-від-касети до касети.

Виявлення витоку:Випробування гелієвим мас-спектрометром у кожній камері зі строгим порогом відхилення < 1 x 10^-9 Па*м^3/с.

Перевірка чистоти:Сканування аналізатором залишкового газу (RGA) виконано перед -транспортуванням, щоб підтвердити відсутність органічних вуглеводнів.

Запис-системи:72-години безперервного сухого випробування механічних приводів, колекторів охолодження та електричних блокувань.

Документація:Сертифікати випробувань матеріалів (MTR), електричні схеми та звіти про заводські приймальні випробування (FAT).

Підготовка місця:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 м^3/год), чисте сухе повітря (CDA) і вихлоп.

Введення в експлуатацію:Розгортання польового обслуговування для механічного вирівнювання, підключення до електромережі, калібрування вакууму та підписання -рецептів.

Навчання оператора:5-денна програма на місці, яка охоплює роботу, профілактичне обслуговування, усунення несправностей і блокування безпеки.

Запчастини:Критичні предмети зносу (нитки, кристали QCM, ущільнювачі, турбомолекулярні підшипники), що зберігаються в регіоні.