Багато-система дугового іонного осадження

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% іонізація матеріалу твердого катода, що забезпечує високо{1}}бомбардування іонами високої енергії в межі підкладки для кращої адгезії плівки порівняно з магнетронним напиленням.

Вакуумна камера з-нержавіючої-сталі з подвійними{0}}стінками містить модульні джерела дуги та ПЛК-контрольований автоматизований цикл керування насосом-вниз,-плазмове травлення на місці, подачу реактивного газу та-багатошарове осадження.

Висока швидкість іонізації:Мінімізує розшарування плівки через щільне іонне бомбардування.

Контрольована стабільність дуги:Програмовані тригери та -регулювання струму в замкнутому контурі пригнічують утворення макрочастинок (крапель) і запобігають отруєнню мішені реактивними газами (N2, C2H2, O2).

Модульні дугові джерела:Розташування боків і дверей адаптується до складної 3D-геометрії інструменту для рівномірного розподілу товщини.

Імпульсне зміщення підкладки:Синхронізовані імпульси напруги підбирають залишкову напругу, подрібнення зерна та мікротвердість.

Важкі-етапи ротації:Планетарні світильники витримують пакетні навантаження до 500 кг при високих теплових і вакуумних навантаженнях.

Чорнова обробка та коріння:Багато-ступінчасті сухі гвинтові насоси в парі з повітродувками Roots запобігають забрудненню вуглеводнями аж до перехідного тиску.

Високий вакуум:Турбомолекулярні або дифузійні насоси підтримують над-високий базовий тиск.

Захоплення та вимірювання:Додаткові холодні пастки з рідким азотом; широкий{0}}діапазон комбінованих датчиків Пірані/холодного катоду.

Катодні мішені:Чисті метали (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) і мішені зі сплавів (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).

Матеріали підкладки:Швидкорізальна сталь (HSS), твердосплавні пластини, інструментальна сталь для холодної та гарячої обробки (SKD11, H13), нержавіюча сталь і титанові сплави.

Попередня-обробка:Ультразвукове очищення водою з подальшим -на місці Ar+ або травленням іонами металу для видалення природних оксидів.

Ріжучі інструменти:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >Твердість поверхні та стійкість до окислення 3000 HV.

Прес-форми та штампи:Захисні шари на прес-формах для лиття під тиском і штампах для запобігання задиранням і абразивному зносу.

Автомобільний:Покриття DLC і CrN на поршневих кільцях, шестернях і пальцях форсунок для зниження коефіцієнтів тертя.

Медичні прилади:Біосумісні покриття TiN/TiCN на хірургічних інструментах та імплантатах.

Розміри камери та схема порту:Спеціальні порти для моніторингу гучності та оптичного випромінювання (OEM).

Генератори:Замовники-марки блоків живлення або спеціалізовані імпульсні{1}}конфігурації зміщення.

Фільтрація:Магнітні поля керування та фільтри макрочастинок для нуль{0}}оптичних/електронних покриттів.

Автоматизація:Інтеграція SCADA та підключення до бази даних SQL для реєстрації даних Industry 4.0.

Перевірка на герметичність:Тестування гелієвим мас-спектрометром усіх зварних швів (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

Електрична безпека:Перевірка опору ізоляції, заземлення та блокування відповідно до стандартів CE/NFPA.

Функціональний сухий хід:72-годинний безперервний механічний і циклічний тест на клапани.

Перевірка процесу:Випробування контрольного зразка на твердість наноіндентування та адгезію до подряпин.

Попереднє-встановлення:Надані креслення інженерних комунікацій для електроенергії, води, витяжки та стисненого повітря.

Введення в експлуатацію:-Налаштування та пробні роботи на місці під наглядом інженерів заводу.

Навчання:Прак-навчання з експлуатації, заміни катода та планового технічного обслуговування.

Догляд за життєвим циклом:Безпечна віддалена діагностика VPN і локальне забезпечення запасними частинами.